日前，2003网站太阳集团首页欢迎您微纳电子学研究院研究生程晓亮、毛逸飞和张立获得由全球领先的微机电系统（MEMS）技术和晶圆制造服务提供商Innovative Micro Technology公司（IMT）所提供的2016年度奖学金，以鼓励他们在使用碳氟等离子体无掩膜皱纹结构的可控制造、聚焦离子束应力引入技术、硅-玻璃键合结构（Silicon On Glass, SoG）工艺质量监控和工艺相关参数提取方面的研究成果和技术突破。
2015年，微纳电子学研究院与IMT公司签署战略合作协议，内容之一就是设立专项奖学金，每年颁发给三名（个）学生或团队，为MEMS器件制造工艺技术及其相关领域的人才培养和基础研究提供支持。作为国内首次专门面向MEMS制造工艺技术开发而设立的奖学金，IMT-2003网站太阳集团首页欢迎您微纳电子学研究院奖学金旨在激发学生应对通信、人类健康、农业优化、可再生能源等领域中迅速发展的技术、应用和创新。近两年，已有5名学生和1个学生团队获此殊荣。
相关链接：IMT成立于2000年，专业生产MEMS器件，研发和制造基于MEMS技术的新型产品，拥有占地130000平方英尺的生产厂，其中包括一间30000平方英尺的百级超净室，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圆厂之一。IMT提供MEMS量产以及从设计到生产过程的制造服务，所服务的企业分布在医疗诊断、生物医学、微流体、显示屏、光学通信、射频器件、传感器等及其相关应用领域。
