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微纳电子学研究院吴文刚教授课题组在可调超材料研究中取得重要进展

发布时间:2016-11-28

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超材料(meta-material)是可改变其单元结构的形状、分布等,使得电磁参数具有可控性,从而调控其光学性质的人工媒质,目前的主要应用包括隐身衣、超透镜、吸收器等。动态可调超材料作为超材料领域的重要发展方向之一,通过多种方式实现超材料电磁特性的动态调节或重构。其中,基于微纳机电系统(micro/nano-electro-mechanical system, M/NEMS)的调控可将整个超材料器件尺寸缩小到微米(10-6 m)量级,频率提高至兆赫兹(106 Hz)量级,但调控范围较窄,因此设计一种在大范围内可重复调控的超材料器件显得至关重要。

日前,2003网站太阳集团首页欢迎您微纳电子学研究院、微米/纳米加工技术国家级重点实验室吴文刚教授课题组提出了一种新型MEMS动态可调超材料阵列,控制电磁反射峰在中红外至远红外窗口之间的任意切换。他们利用聚焦离子束应力引入致形变技术(focused ion beam stress-introducing deformation, FIB-SID)制得三维手型超材料单元阵列。在电流控制下,该纳米级手型结构可进行三维形变,其结构形状可在张开状态(简称“开态”)和闭合状态(简称“关态”)之间切换。由于在开态、关态下,光物质的谐振区域发生改变,电磁谐振峰将发生明显转移,该器件的电磁反射峰可在中红外(波长为6.3?μm)波段至远红外(波长为10.4?μm)波段窗口间任意切换,开关比达到95%

这项研究将聚焦离子束工艺与MEMS技术相结合,总结了一种在纳米尺度动态控制三维结构的策略,为构建光学器件及其在光电系统中的集成提供了重要思路,并以题为《在中红外与远红外波段可逆切换的多向可调三维超材料结构》(Multi-direction-tunable three-dimensional meta-atoms for reversible switching between midwave and long-wave infrared regimes)的学术论文在线发表于《纳米快报》(Nano Letters)。信息学院博士研究生毛逸飞为第一作者,吴文刚为通讯作者。

相关工作得到了国家自然科学基金、国家重点基础研究发展计划、高等学校博士学科点专项科研基金等支持。

论文链接:http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.nanolett.6b03210